摘要：采用射频磁控溅射技术，在不锈钢衬底上沉积制备了(003)取向的LiCoO₂薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜、拉曼及电化学测试探究了溅射功率对LiCoO₂薄膜结构及电化学性能的影响。结果表明在80-160 W功率范围内，适当增加功率有助于Co与O的键合，提高薄膜的结晶度。功率为120 W时，首次放电比容量为40.9μA h cm^-2μm^-1，循环100圈后容量保持率为61.2%；但当功率提高到160 W时，由于过快的沉积速率难以与粒子在衬底表面的扩散速率相匹配反而会造成LiCoO2结晶度下降，晶格产生畸变，阻碍了Li⁺在材料内部的扩散，循环100圈后容量保持率只有54.2%。

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202111020