摘要：一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，属于镀膜技术领域，该装置包括真空室上壁板和真空室下壁板，其特征在于：上电极板与真空室上壁板固定连接；至少两列热丝竖直分布，每列热丝上端与其对应的上电极板固定连接，每列热丝下端与其对应的下电极板固定连接；下电极板下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板之上。该装置采用多阵列热丝竖直分布，可以双面大面积镀膜，减少热丝的成本，多列热丝的分布方式可以实现大面积镀膜试样的完整有效镀膜，且提高镀膜的效率，竖直分布的热丝结构保证了在不破坏热丝的情况下取出试样，进一步降低了热丝的成本，热丝下端的热丝调力机构可以张紧热丝并限制热丝摆动，实现均匀镀膜。