专利成果
联系我们
学校地址:辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
实验室地址:大连理工大学三束实验室4号楼
[7]. 张贵峰, 索妮, 王蕾, 黄昊, 一种掺硼金刚石粉末的制备方法, 2018.04.10, 发明专利2016105369651.
发表时间:2018-04-10 点击次数:

摘要:本发明属于新材料合成领域,提供了一种掺硼金刚石粉末的制备方法。将硼源的乙醇溶液超声振荡形成分散液,滴到载体上,烘干即得衬底;采用HFCVD法制备金刚石薄膜,在100%氢气环境下,对衬底进行精细净化和活化处理,活化处理时间为20‑40min;活化处理与金刚石薄膜沉积过程中,温度维持2000‑2200℃,控制衬底温度为650‑950℃,反应室内总压强20‑70Torr;金刚石薄膜沉积时,甲烷浓度为0.5%‑2%,沉积时间1‑6h;将金刚石薄膜放入管式炉中,抽真空后通入保护气体,扩散退火处理。此方法具有简单、方便、安全、掺硼量可控等优点。特别适用于作燃料电池阴极催化剂的BDD电极制备。