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[12]. 张贵锋, 索妮, 郝胜智, 黄昊, 一种金刚石薄膜表面石墨化的方法, 2018.10.26, 发明专利201810602792.8.
发表时间:2018-10-13 点击次数:

摘要:本发明属于催化材料制备技术领域,提供一种金刚石薄膜表面石墨化的方法,利用强流脉冲电子束轰击金刚石表面,强流脉冲电子束轰击的微观区域能满足高温低压环境下金刚石转变为石墨的热力学和动力学条件,使石墨化仅仅发生在金刚石表面。具体包括:将清洗且去除表面氧化层的衬底置于金刚石粉悬浮液中超声处理后,放置于热丝化学气相沉积设备中的样品台上,进行精细净化和活化处理;将沉积金刚石薄膜的基材固定在强流脉冲电子束装置内部的夹持装置上处理得到表面石墨化金刚石薄膜。本发明强流脉冲电子束能量密度高,微区的高温低压条件更有利于金刚石向石墨化的转变,形成同时具有良好热导率、电导率以及氧还原催化活性的阴极催化剂。