学历：硕士研究生毕业

学位：硕士

状态：毕业

毕业论文标题：线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备

研究方向：微波等离子体诊断及薄膜制备

毕业去向：华为技术有限公司

介绍：大面积、稳定和可控性强的等离子体源一直是研究热点,在太阳能电池及半导体薄膜材料领域都有着广泛的应用前景。等离子体的电子密度和电子温度一直是等离子体诊断时的两个重要物理参数,并且电子密度和电子温度对薄膜质量影响很大。论文首先利用朗缪尔单探针法诊断和优化了实验室自研的线形同轴耦合微波等离子体放电参数及其空间分布均匀性，然后基于正交实验法制备和表征了不同工艺条件下的多晶硅薄膜质量，并有效优化了多晶硅薄膜生长工艺，探究和揭示了其对太阳能电池性能的影响规律。

入学日期：2011-09-01

毕业日期：2014-06-30

电子邮箱：390572142@qq.com