摘要：根据传感技术国家重点实验室和本人今年来在MEMS与传感器技术方面的实践探索和思考，结合国家重要需求和国际前沿发展趋势，报告介绍研究进展的“MEMS传感器技术的加减乘除法”，将四个重要的发展方面形象地归结为加减乘除。具体为：Combo sensor发展中集成的敏感轴数在不断做加法，为MEMS集成工艺乃至异质巨集成工艺的发展提出了挑战。 而面对化学传感器目前研发的敏感材料很多但可实用的不多这个瓶颈，需要提取敏感材料背后的热力学动力学参数来进行评估和筛选，为敏感材料的种类做优化的减法。而针对混杂环境下的痕量识别检测，提出了采用多种谱学检测原理联合检测，并用MEMS技术将多谱学检测设备集成缩小成廉价和便携的集成谱学微传感器，进而利用多谱学检测得到的多个正交信息，经融合与智能提升，实现传感信息的乘法，来实现精准的检测与识别。最后，面对物联网大数据时代的现场传感网节点，提出要注重信息除以能耗后的传感能效，进而介绍一种采用智能化能量采集器实现的现场零供电报警传感器的新技术。

报告人简介：

李昕欣教授先后毕业于清华大学和复旦大学获得学士和博士。曾先后在香港科技大学、新加坡南洋理工大学和日本东北大学工作。2000年入选中科院百人计划回国，任中科院上海微系统所任研究员和博士生导师，长期进行MEMS和微纳传感器技术的研究工作。于2007-2017年连续两届担任传感技术国家重点实验室主任，现任研究所的副总工。2007年获得国家杰出青年科学基金支持，2004年获国务院特殊津贴，2009年指导博士生获得全国百篇优秀博士论文。曾获国家技术发明二等奖一项和上海市技术发明一等奖一项。在发表的数百篇论文中，包括国际SCI期刊论文200余篇，共被引用数千次。拥有发明专利100多项且有十几项已成功向企业授权转化。研发的MEMS加速度计为解决国家重要需求做出了突出贡献。