表面处理工艺简介

表面处理工艺可实现样品表面无机物杂质和光刻胶的去除、有机材料的微观灰化、有机物及塑料品的表面处理等。

等离子体灰化仪

设备简介：

    英国Quorum公司的等离子体灰化仪，采用微处理器控制，全自动操作，程序控制。工作气体采用双气体流量控制方式，工作气体可以选用O₂、Ar、CF₄或O₂与Ar的混合气体，可用于样品表面无机物杂质和光刻胶的去除、有机材料的微观灰化、有机物及塑料品的表面处理等。真空腔室为圆柱形，包括两个半圆形电极，样品装载为抽屉式抽拉系统，方便使用。设备具有低温工作、易操作、装卸样品方便等优点。

技术参数：

    腔室尺寸：直径110mm，长度160mm

    射频功率：0～100W

    工艺压力：0.4～1.0mbar

    计时方式：数字计时