实验室主任：

  刘军山，大连理工大学研究员

实验室副主任：

  邱介山，大连理工大学教授（杰青，长江）

  刘 冲，大连理工大学教授

研究室：

 生化微系统与物联网研究室：

   主任：杜立群教授，

   副主任：王大志教授、徐征副教授

 微纳传感器与执行器研究室：

   主任：褚金奎教授，

   副主任：雷明凯教授（杰青，长江）、崔岩副教授

 微纳仪器与装备研究室（新增设的学科方向）：

   主任：王晓东教授，

   副主任：罗怡教授、娄志峰副教授

 信息光电子器件研究室：

   主任：赵明山教授，

   副主任：胡礼中教授

 纳米材料与器件研究室：

   主任：宁桂玲教授

办公室主任：李经民教授