● D8-Discover型高分辨X射线衍射仪 最大功率:2.2kw (正常使用状况:40kV, 40mA) 功能简介:薄膜分析;高分辨X射线衍射;掠入射X射线衍射(普通型和in-plan模式);反射率;织构分析 主要附件:Gobel反射镜;Ge(022)四晶单色器(角分辨率< ="12') 其余附件:多功能样品台(in-plan模式);反射率附件(带刃型光阑);后平行狭缝 主要性能:theta, 2theta 轴最小步距0.0001,样品台具有(X,Y,Z,Phi,Chi)五个自由度:Chi:-11°到98° Δ0.01°;Phi:-180°to +180° Δ0.01°;X轴:80mm Δ0.01mm;Y轴:80mm; Δ0.01mm; Z轴:2mm Δ0.01mm 主要功能:高分辨X射线衍射分析 (1)可选择双晶摇摆曲线测量、三轴晶衍射测量(即倒易空间等强度分布图测量)等测量方式;(2)分析范围:外延薄膜的厚度,晶格参数、失配、应力,化学配比,缺陷、晶粒尺寸、侧向结构 掠入射X射线衍射测量 (1)测量特点:仪器的X-射线束是近标准的平行光束,可采用面内和面外两种方式 (2)适合做薄膜的相结构,晶格参数、失配、应力,侧向结构和膜层的取向 反射率测量 (1)可测1000纳米以下薄膜的厚度、密度以及5纳米以下界面粗糙度等信息, (2)测量范围:非晶,单晶,多晶 织构测量:主要用于测量基体和膜层取向
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● MTS纳米压痕仪:测量硬度和弹性模量 ● UMT-2型微磨擦磨损试验机 ● DMH-2型显微硬度计 ● CSR-01型划痕试验机 ● M342电化学测试系统 ● KD-60可程式及连续式盐水喷雾试验机 ● RTS-9型双电测四探针测试仪 ● 精密试样切片机 ● ISOMET型自动精密低速切割机 ● SIMPLIMET1000型精密镶样机 ● VECTOR型磨抛机 ● Phoenix Beta/2型双盘手动磨抛机 ● M-Prep 3TM型电镜样品研磨机 ● DMM-900C型透反射金相显微镜 ● F10713348-2型附着力测试仪 ● 06-0300-02型高精度凹坑仪 ● QM-3SP4J型球磨机
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